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随着大家对生活质量的提升,对其生产制造质量的规定也愈来愈严苛。五金厂与别的行业的无尘车间在整体规划时针对静电感应的操纵关键分成二种:高湿度事实上减少了无尘车间、净化室表面的静电荷累积,──它是大伙儿期待的結果。较低的湿度比较合适负电荷的累积并变成潜在性的具备毁灭性的静电感应释放出来源。当相对湿度超出50%时,静电荷刚开始快速消退,可是当相对湿度低于30%时,他们能够在导体和绝缘体或是未接地装置的表面上不断存有很长一段时间。
相对湿度在35%到40%中间能够做为一个比较满意的最合适的,半导体材料无尘车间、净化室一般都应用附加的操纵设备以限定静电荷的累积。许多放热反应的速率,包含浸蚀全过程,将随之相对湿度的提高而加速。全部曝露在无尘车间、净化室周边气体中的表面都迅速的被遮盖上最少一层单分子层的水。当这种表面是由能够与水反映的薄金属涂层构成时,高湿度能够使反映加快。好运的是,一些金属材料,比如铝,能够与水产生一层维护型的金属氧化物,并阻拦进一步的氧化还原反应;但另一种状况是,比如氧化铜,不是具备维护工作能力的,因而,在高湿度的自然环境中,铜制表面更非常容易遭受浸蚀。
因此清洁无尘车间的温湿度操纵由其生产工艺流程决策,但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如计量室、光栅刻线室、仪器仪表生产制造和装配车间等。前二者都为小屋子,中央空调精度(这儿关键指温湿度)规定高;后二者为很大的装配车间,温湿度精度规定较低。因此其屋子尺寸也会决策恒温恒湿设备生产车间的精度。
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